淄博汇诺机械设备有限公司
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扩散泵真空机组概述：
扩散泵真空机组是以扩散泵做为主泵，串以机械泵（一般常用2X型旋片式真空泵、滑阀真空泵）、和增压泵，并配以多种阀门、仪表组成的高真空获得应用产品。可获得真空为10-4pa，抽气量300-40000L/S供用户选择。扩散泵真空机组具有高真空、大抽速、真空稳定等特点，被广泛应用在电子、化工、冶金、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空冷冻干燥设备、真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得。
扩散泵真空机组运行简介：
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1、2X旋片式真空泵 |
2、机架 |
3、电磁充气阀 |
4、阀门A |
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5、罗茨真空泵 |
6、真空测量接头 |
7、金属真空波纹管 |
8、放气阀 |
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9、阀门B |
10、真空测量接头 |
11、真空测量接头 |
12、阀门C |
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13、冷阱 |
14、扩散真空泵 |
16、扩散泵支架 |
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扩散泵单独不能使用，一定要串联前级泵，如有必要需在串联1台中间增压泵进行工作（以下以前级泵以2X系列旋片式真空泵为例、中间增压泵以ZJP罗茨真空泵为例）。
扩散泵真空机组开启顺序：
1、关闭扩散泵真空机组连接系统的阀门C，关闭阀门A、B对2X旋片式真空泵和罗茨泵进行正反转试车。
2、确定转向后，打开阀门C、打开阀门B，并运行2X旋片式真空泵。
3、至真空抽至1000pa时，开启罗茨真空泵直至真空度达到10pa以内。
4、打开A阀门，同时关闭B阀门（此时真空度会有一定下降）。
5、当真空度回升到10pa以内后，开启扩散真空泵加热炉，直至扩散泵机组正常工作。
扩散泵真空机组关闭顺序：
1、关闭阀门C，并停止扩散泵加热炉。
2、运行10分钟左右关闭罗茨真空泵。
3、等待扩散泵油温降至40摄氏度左右时，关闭阀门A，同时关闭2X旋片式真空泵。
4、当扩散泵泵壳温度降到室温时，打开放气阀8。机组关闭完成。
使用扩散泵真空机组注意事项。
1、自扩散泵运行到整套机组关闭，扩散泵冷却水不能停止。
2、真空度高于10pa及以上时，扩散泵不得开启加热炉。
3、扩散泵运行期间，如遇突然停电时，应迅速关闭阀门A、B、C。
扩散泵真空机组选型参考
1、首先确定系统所需真空度。
确定好系统所需真空度后，方可选择是否配备冷阱、罗茨真空泵、冷却水温度等。
注：冷却水温度范围为1-20摄氏度。冷却水温度越低，真空度越高。反之则真空度低。
2、选择扩散泵真空机组所配阀门。
一般选择阀门有手动高真空蝶阀、气动高真空蝶阀、气动高真空球阀、高真空挡板阀。
自动化程度越高，所配置阀门越多，价格越高。反之手动高真空蝶阀价格更低。不推荐使用电动阀门。
3、了解系统在高真空下生产的产气量大小。
如若在高真空下系统产气量微弱，可考虑增设1台维持泵，以避免造成电能浪费。
扩散真空泵机组常用选型配置表
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型号 Model |
JTK-100 |
JTK-150 |
JTK-200 |
JTK-300 |
JTK-400 |
JTK-500 |
JK-100 |
JK-150 |
JK-200 |
JK-300 |
JK-400 |
JK-630 |
JK-800 |
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压力(Pa) |
10-4 |
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抽气速率(L/S) |
180 |
370 |
600 |
1400 |
2500 |
4000 |
100 |
280 |
420 |
900 |
1800 |
4000 |
6500 |
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排气压力(Pa) |
35 |
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加热功率(Kw) |
0.8 |
1.2 |
1.5 |
2.4 |
4.5 |
6 |
0.8 |
1 |
1.5 |
2.1 |
4.8 |
8.4 |
19.8 |
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配用主泵 |
TK-100 |
TK-150 |
TK-200 |
TK-300 |
TK-400 |
TK-500 |
K-100 |
K-150 |
K-200 |
K-300 |
K-400 |
K-630 |
K-800 |
|
|
配用挡板 |
LB-100 |
LB-150A |
LB-200B |
LB-300A |
LB-400 |
LB-500 |
LB-100 |
LB-150A |
LB-200B |
LB-300A |
LB-400 |
LB-630 |
LB-800 |
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|
配用阀门 |
GD-100 |
GD-150 |
GD-200 |
GDQ-300 |
GDQ-400 |
GDQ-500 |
GD-100 |
GD-150 |
GD-200 |
GDQ-300 |
GDQ-400 |
GDQ-630 |
GDQ-800 |
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配用前级泵 |
2X-4 |
2X-8 |
2X-15 |
2X-30 |
2X-70 |
2X-70 ZJ-600 |
2X-4 |
2X-8 |
2X-8 |
2X-15 |
2X-30 |
2X-70 |
2X-70 ZJ-600 |
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接口法兰 |
LF-100 |
LF-150 |
LF-200 |
LF-300 |
LF-400 |
LF-500 |
LF-100 |
LF-150 |
LF-200 |
LF-300 |
LF-400 |
LF-630 |
LF-800 |
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结构尺寸(mm) |
H |
870 |
950 |
1000 |
1300 |
1600 |
1700 |
870 |
950 |
1000 |
1300 |
1600 |
2000 |
2400 |
|
L |
650 |
750 |
850 |
950 |
1150 |
1500 |
550 |
650 |
750 |
850 |
950 |
1100 |
2000 |
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扩散泵真空机组的优缺点
扩散泵的优点：
1、对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，真空可达到更低的压强；
2、维护简单；
3、费用低；
4、不易出故障；
扩散泵的缺点：
1、扩散泵需要冷却水，开关机须等待；
2、易造成样品室污染；
3、如果前级泵所产生的压强高于反压强，则扩散泵就不能正常工作。
扩散泵比分子泵在开关机时间上均要长上十分钟，需要水冷系统，但在可获得的真空度方面，却要高上一个数量级。了解一个产品的优缺点，对于更合理的使用这种产品有事半功倍的效果，扩散泵有着它的优势，但是同时它也存在着缺点，但是如果能够不断的改进它的缺点，优化其优点，对于产品的进一步提升有不可估量的效果。这也应该成为未来研究扩散泵的一个方向，专业人士应该重视这方面的研究。
